进博会上 光刻机巨头回应出口管制

【文/观察者网 吕栋】

“自1988年ASML首台光刻机进入中国,我们已进入中国市场30余年。在合规合法的前提下,我们继续在中国开展业务。由于先进制程技术受到了更多限制,因此我们在中国的业务聚焦于生产主流芯片的成熟制程领域。”11月5日,第七届进博会开幕当天,荷兰光刻机巨头ASML在回答观察者网提问时表示。

今年是ASML第六年参加进博会。与往年类似,ASML在展台上主要通过模型和视频等形式,展示其融合光刻机台、计算光刻和量测的全景光刻解决方案。

但稍有不同的是,今年ASML在展示解决方案时,着重介绍了具体产品,例如三款应用广泛的深紫外光刻机(DUV):NXT:1470、NXT:870和XT:260,以及量测设备eScan 1100等。

这其中,NXT:1470光刻机的照明波长为193nm,分辨率为≤57nm,套刻精度≤4.5nm。而前不久,中国工信部推广的国产氟化氩光刻机,照明波长为193nm,分辨率≤65nm,套刻≤8nm。

换句话说,ASML这次介绍的NXT:1470光刻机,技术指标刚好稍高于国产氟化氩光刻机。

而在ASML所有DUV产品中,NXT:1470并不是最先进的,像最新的NXT:2100i的分辨率达到了38nm,套刻精度0.9-1.3nm,最新的极紫外光刻机(EUV)的分辨率更低至8nm。

今年进博会上ASML的展台 图源:ASML

最近一年来,ASML来自中国大陆的收入比例持续处于高位。根据2024年三季报,该季度ASML中国大陆销售额占全球收入的比例仍高达47%,比中国台湾和韩国的总和还高。

在这次进博会期间,ASML对观察者网解释称,过去几年该公司未能满足中国市场的全部需求,与此同时其他地区客户的需求时间节点发生了变化,这使ASML能够向中国客户交付更多设备。所以,中国地区的交付量在增加,同时其他地区在减少,导致了中国地区净系统销售额占比的上升。

但与此同时,ASML在中国大陆的业务,不断受到地缘政治的干扰。

过去数年来,在极紫外光刻机(EUV)受到出口管制后,ASML比较先进的DUV机台TWINSCAN NXT:2000i及后续推出的浸润式光刻系统,以及TWINSCAN NXT:1970i和1980i型号浸润式DUV光刻系统等,也相继受到出口管制,需要向荷兰政府申请许可证才能向中国大陆出口。

在上个月发布2024年三季报时,ASML首席财务官戴厚杰(Roger Dassen)坦言,该公司在中国市场的业务有不少是围绕浸润式光刻系统,而这类光刻系统的毛利率显著高于ASML整体毛利率。因此,若中国市场的份额发生变化,ASML的毛利率也将受到影响。

图源:观察者网

这次在进博会上,当被问到会否因出口管制调整在华经营策略时,ASML对观察者网表示,目前中国是全球最大半导体消费国,长期来看对半导体产品的需求仍将维持在高位,尤其是成熟制程芯片领域。同时中国在高度全球化的半导体行业中起着重要作用,在合规合法的情况下,该公司持续为中国客户提供服务和支持。

在光刻机领域,ASML已成为不可否认的领导者,但也并非完全没有竞争对手。

观察者网注意到,这次进博会上,日本企业尼康也搭建了展台,并且着重介绍了自家半导体光刻机业务,比如ArF(氟化氩)液浸式扫描光刻机等设备,现场工作人员称这种设备可以生产7nm芯片。

尼康和佳能曾在1990年代之前主导光刻机市场,但在EUV光刻机的开发竞争中败给了ASML。EUV在2010年后半期商业化,目前只有ASML能够生产。另一方面,尼康的经营资源分散在各种光源上,缺乏强势领域。尽管曾向美国英特尔供货,但尼康开拓其他客户进度迟缓。

去年底日本媒体报道称,尼康为了重振业绩,将转变半导体光刻机业务的战略,寻求逆势开拓中国市场。该公司计划于2024年夏季推出光刻机新品,该产品使用了1990年代初实用化、被称为“i线”的老一代光源技术,这种技术不违反对华出口管制,性价比也可观。

这次在进博会上,尼康也通过图文介绍了“i线步进式光刻机”等设备。有行业研报指出,i线光刻技术已经被深紫外光刻技术(DUV)所替代,但在针对部分旧款半导体工艺和制造流程、MEMS(微机电系统)制造、显示器制造、大型光掩模上仍需要使用i线光刻机。

尼康在本次进博会上的展台 图源:观察者网

但坦白讲,尼康与ASML的差距仍显而易见。根据芯思想Chipinsights数据,2022年全球出货的551台光刻机中,ASML占据345台,佳能176台,尼康30台。销售额方面,ASML、佳能、尼康在光刻机方面的营收分别为161、20和15亿美元,ASML占据82%的份额。

尽管地缘政治阴霾笼罩,但对科技巨头来说,进博会确实提供了一个与中国市场深入交流的机会。

ASML对观察者网表示,通过多次参展进博会,该公司与行业内外的合作伙伴加强了交流,也感受到公众对ASML的了解更客观和全面,“我们能够感受到中国的发展活力。每年一度的进博盛会持续体现了中国扩大开放、推动合作的承诺,是中国促进高水平对外开放的重要体现。”

根据2024年三季报,ASML预计今年净销售额为280亿欧元(约合人民币2170亿元)左右,毛利率约为50.6%;明年中国大陆地区销售额(净系统销售额和装机管理销售额)将逐渐回归历史占比水平,占全球总收入的20%左右,原因在于随着订单交付,中国客户的需求逐渐得到满足,与此同时非中国地区的市场回暖。

在2022年的投资者日上,ASML曾预估2025年的营收将在300亿至400亿欧元之间。考虑到近期的市场形势,该公司预计2025年ASML的净销售额将在300亿至350亿欧元。该消息一度导致ASML股价闪崩。

ASML坦言,中国大陆是该公司的重要市场之一。从历史来看,20%是中国大陆市场业务的一个合理的占比数字,该数字与ASML未交付订单中中国大陆的份额保持一致。目前,该公司在中国大陆拥有超过1800名员工,设有16个办事处、15个仓储物流中心、3个开发中心、1个培训中心和1个维修中心。

以下是观察者网与ASML交流实录:

1.今年已是ASML第六年参加进博会,多年来这个平台让ASML获得了哪些收获?

通过多次参展进博会,我们与行业内外的合作伙伴加强了交流,也感受到公众对ASML的了解更加客观和全面。

今年是ASML第六次参加进博会,借助本届进博会,我们希望进一步增强行业内外对于ASML全景光刻解决方案的认知,通过产品和业务介绍等具体载体展现ASML在半导体行业中所扮演的角色。我们期待在今年能与更多观众进行交流,也深化公众对ASML的了解。

2.在ASML的全球战略中,中国市场处于怎样的地位?

中国在高度全球化的半导体行业中起着重要作用。中国是ASML的重要市场之一,在合规合法的情况下,我们持续为中国客户提供服务和支持。

自1988年ASML首台光刻机进入中国,我们已进入中国市场30余年。在中国,ASML积极响应中国集成电路行业的需求,为客户提供包括光刻机台、计算光刻、光学与电子束量测在内的全景光刻解决方案。此外,ASML旗下的光源公司Cymer也为中国客户提供用于DUV光刻机的ArF和KrF光源产品组合。

如今,我们在中国拥有超过1800名员工,设有16个办事处、15个仓储物流中心、3个开发中心、1个培训中心和1个维修中心。

3.ASML如何看待中国半导体产业多年来的发展?这给ASML带来了哪些机遇?

目前中国是全球最大的半导体消费国,长期来看对半导体产品的需求仍将维持在高位。尤其是成熟制程芯片领域。

具体来看,中国半导体市场既有存量市场,也有增量市场。存量市场主要体现在基础设施建设、电子消费品市场以及5G基站及其应用场景等,这些都将持续驱动对半导体的消费需求。而增量市场则主要来自于新能源等新兴领域对半导体产品不断增加的需求。

中国政府对半导体产业的支持也为市场特别是成熟制程市场的可持续发展注入持续动力。

与此同时,中国本土品牌正成为重要的市场参与者,在主要的半导体终端市场领域占据相当大的业务体量或收入份额,尤其是太阳能电池、锂电池和电动汽车。在2023年的出口中,这三种产品表现强劲。中国在高度全球化的半导体行业中起着重要作用。中国是ASML的重要市场之一,在合规合法的情况下,我们持续为中国客户提供服务和支持。

今年进博会上ASML的展台 图源:ASML

4.最近一段时间,ASML来自中国市场的收入占比处于高位,但与此同时,美国和荷兰政府不断收紧出口管制措施,这会对ASML带来哪些影响?ASML会否调整在华经营策略?

在合规合法的前提下我们继续在中国开展业务。由于先进制程技术受到了更多限制,因此我们在中国的业务聚焦于生产主流芯片的成熟制程领域。

过去一段时间内,中国净系统销售额占全球收入比重较高的原因是,过去几年ASML未能满足中国市场的全部需求,与此同时其他地区客户的需求时间节点发生了变化,这使我们能够向中国客户交付更多设备。所以,中国地区的交付量在增加,同时其他地区在减少,就导致中国地区净系统销售额占比的上升。

根据最新发布的2024年第三季度财报,预计明年ASML中国地区销售额(净系统销售额和装机管理销售额)将逐渐回归历史占比水平,占全球总收入的20%左右。这一数字的原因在于,随着订单的交付,中国客户的需求逐渐得到满足,与此同时非中国地区的市场回暖。从历史来看,20%是中国市场业务的一个合理的占比数字,该数字与ASML未交付订单中中国地区的份额保持一致。

5.作为一家跨国企业,ASML对中国经济现状有何感受?又如何看待中国经济前景?

在半导体领域,目前中国是全球最大的半导体消费国,长期来看对半导体产品的需求仍将维持在高位。尤其是成熟制程芯片领域。中国政府对半导体产业的支持也为市场特别是成熟制程市场的可持续发展注入持续动力。

通过参加进博会,我们能够感受到中国的发展活力。每年一度的进博盛会持续体现了中国扩大开放、推动合作的承诺,是中国促进高水平对外开放的重要体现。

6.近年来中国愈发强调建设科技强国、高质量发展等,ASML计划如何进一步参与进来?未来会不会进一步扩大在中国市场的布局?

中国是ASML的重要市场之一,在合规合法的情况下,我们持续为中国客户提供服务和支持。

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